عنوان فارسی مقاله: | تریبولوژی میکرو/نانو مقیاس مواد MEMS، روان کننده ها و وسایل |
عنوان انگلیسی مقاله: |
MICRO/NANOSCALE TRIBOLOGY OF MEMS MATERIALS, LUBRICANTS AND DEVICES |
عنوان فارسی مقاله: | روان کنندگی سیلیکون های پلی کریستالهای MEMS از طریق یک پوشش نازک کاربید سیلیکون |
عنوان انگلیسی مقاله: | Lubrication of polycrystalline silicon MEMS via a thin silicon carbide coating |