عنوان فارسی مقاله: | بررسی XPS و TEM در واکنش حالت جامد Ru-Si و رسوب شده ترکیب دوظرفیتی سیلیکون (سیلیسید) روتنیم رشد کرده بر روی سیلیکون |
عنوان انگلیسی مقاله: | XPS and TEM study of deposited and Ru–Si solid state reaction grown ruthenium silicides on silicon |