عنوان فارسی مقاله: | تریبولوژی میکرو/نانو مقیاس مواد MEMS، روان کننده ها و وسایل |
| عنوان انگلیسی مقاله: |
MICRO/NANOSCALE TRIBOLOGY OF MEMS MATERIALS, LUBRICANTS AND DEVICES |
خلاصه
1. مقدمه- مسائل تریبولوژیکی در MEMS
2. مطالعات تریبولوژیکی در مورد مواد MEMS
1. 2 نمونه های سیلیکون استفاده نشده و روکش دار/ اصلاح شده
1. 1. 2 خصوصیات تریبولوژیکی سیلیکون و اثر کاشت یون
2. 1. 2 اثر اکسایش بر خصوصیات تریبولوژیکی سیلیکون
2. 2 مطالعات تریبولوژیکی فیلم های پلی سیلیکون و SiC
3. مطالعات تریبولوژیکی روان کننده ها برای MEMS
1. 3 روان کننده های پرفلوروپلی اتر
2. 3 فیلم های Langmuir-Blodgett و تک لایه های خود مونتاژ
2. 4 اندازه گیری نیروی اصطکاک استاتیک (stiction) در MEMS
3. 4 مکانیزم های مرتبط با پدیده های اصطکاک استاتیک مشاهده شده در میکروموتورها
5. نتایج
کلمات کلیدی :
Tribology and MEMS - IOPscienceiopscience.iop.org/article/10.1088/0022-3727/39/12/R01/metaby JA Williams - 2006 - Cited by 135 - Related articlesJun 2, 2006 - Gardos M 1998 Tribology Issues and Opportunities in MEMS ed B .... Konstantinos A. Sierros et al 2016 Journal of Materials Research 31 1924 ... Nanoscale triboactivity of functionalized c-Si surfaces by Fe+ ion implantationCoatings Tribology: Properties, Mechanisms, Techniques and ...https://books.google.com/books?isbn=0080931464Kenneth Holmberg, Allan Matthews - 2009 - ScienceSue, J.A., Troue, H.H., Friction and wear properties of titanium nitride coating in ... Sundararajan, S., Bhushan, B., Micro/nanoscale tribology of MEMS materials, ...PhD: Nanoscale Tribology With MEMS Devices Delft University of ...www.academictransfer.com › ... › VacaturesTranslate this pagemicromachine devices, MEMS, friction, wear, tribology. ... Vacature Delft University of Technology - PhD: Nanoscale Tribology With MEMS Devices HRS4R .... with several, mainly inorganic (but also graphene), sliding surface materials.Micro/Nanoscale Tribology and Mechanics of MEMS/NEMSww2.unime.it/dottoratoOPTO/MEMS_NEMS_TriboMech.htmNanotribology and Nanomechanics of. MEMS/NEMS and BioMEMS/BioNEMS Materials and Devices. Bharat Bhushan. Ohio Eminent Scholar and The Howard ...